فرن تلدين حراري سريع
مفرن سخان حراري سريع هو جهاز معالجة شبه موصل متطور يتيح التحكم الدقيق في درجات الحرارة ودورات تسخين وتبريد سريعة. يستخدم هذا النظام المتقدم مصابيح عالية الكثافة أو مصادر تسخين أخرى لرفع درجة حرارة ألواح شرائح شبه الموصلات إلى مستويات مرتفعة للغاية، عادة بين 400°C و1200°C، خلال ثوانٍ قليلة. يحدث هذا العملية داخل غرفة ذات جو متحكم فيه، حيث يتم إدارة المعايير مثل درجة الحرارة، الزمن، وتكوين الغاز بدقة كبيرة. الوظيفة الرئيسية للمفرن هي تنشيط المواد المضافة (دوبانتس)، إصلاح الضرر البلوري، تكثيف الأغشية المودعة، وتعديل الخصائص التقاطعية في مواد شبه الموصلات. ما يميز هذه التقنية هو قدرتها على تقليل الميزانية الحرارية بينما تحقق التعديلات المطلوبة في المادة، مما يجعلها ضرورية لتصنيع شبه الموصلات الحديث. يتضمن النظام أنظمة قياس وتحكم حراري متقدمة، عادةً باستخدام بيرومترات أو أجهزة قياس الحرارة، مما يضمن توحيد درجة الحرارة بدقة عبر سطح الشريحة. تمتد التطبيقات خارج نطاق معالجة شبه الموصلات التقليدية لتتضمن تصنيع خلايا الطاقة الشمسية، أجهزة MEMS، وأبحاث المواد المتقدمة. القدرة على تنفيذ عمليات حرارية مختلفة مثل الأكسدة، السيليسيديشن، وتشكيل الاتصالات يجعل من مفرن السخان الحراري السريع أداة لا غنى عنها في تصنيع الإلكترونيات الدقيقة.