Vacuum Technology Integration
Integrationen af vakuumteknologi repræsenterer en hjørnesten i disse ugners funktioner, hvilket giver en udenforlign procesmiljø. Systemet opnår vakuumniveauer ned til 10-6 torr, hvilket effektivt eliminerer atmosfærisk forurening og ukønskede kemiske reaktioner. Vakuumsystemet omfatter højydelsespumper, præcise tryksensorer og automatiserede kontrolsystemer, der vedligeholder stabile vakuumforhold gennem hele processen. Denne funktion er især værdifuld for anvendelser, der kræver ultrarene procesbetingelser, såsom inden for halvlederindustrien eller forskning i avancerede materialer. Vakuummiljøet gør også specialiserede processer som sintering, annealing og varmebehandling af følsomme materialer mulige, hvilket ville være umuligt under atmosfæriske betingelser.