φορνός γρήγορης θερμικής αποτάφρωσης
Ένα κλιμακωτό φούρνος θερμικής αναδιαμόρφωσης είναι ένα πολύπλοκο συστήματα επεξεργασίας που χρησιμοποιείται στους ηλεκτρονικούς προϊόντες, που επιτρέπει ακριβή έλεγχο της θερμοκρασίας και γρήγορους κύκλους θέρμανσης και ψύξης. Αυτό το προηγμένο σύστημα χρησιμοποιεί υψηλής ενταστικότητας λαμπτήρες ή άλλες πηγές θέρμανσης για να αυξήσει γρήγορα τη θερμοκρασία των φάλαγγων ηλεκτρονικών υλικών σε ακραία επίπεδα, συνήθως μεταξύ 400°C και 1200°C, μέσα σε δευτερόλεπτα. Η διαδικασία πραγματοποιείται σε ένα ελεγχόμενο ατμοσφαιρικό τοπάριο, όπου οι παράμετροι όπως η θερμοκρασία, ο χρόνος και η σύνθεση των αερίων διαχειρίζονται με μεγάλη προσοχή. Η βασική λειτουργία του φούρνου είναι να ενεργοποιεί τα δοπάντια, να επισκευάζει την καταστροφή των κρυστάλλων, να πυκνοποιεί τα κατατμημένα φιλμ και να τροποποιεί τις διαμεταβατικές ιδιότητες των ηλεκτρονικών υλικών. Το χαρακτηριστικό που το διαχωρίζει είναι η ικανότητά του να ελαχιστοποιεί το θερμικό προϋπολογισμό ενώ επιτυγχάνει τις επιθυμητές τροποποιήσεις των υλικών, κάνοντάς το απαραίτητο για τη σύγχρονη παραγωγή ηλεκτρονικών. Το σύστημα περιλαμβάνει προηγμένα συστήματα μέτρησης και έλεγχου της θερμοκρασίας, χρησιμοποιώντας συνήθως πυρόμετρα ή θερμοζεύγματα, εξασφαλίζοντας ακριβή ομοιομορφία της θερμοκρασίας στην επιφάνεια της φάλαγγας. Οι εφαρμογές επεκτείνονται πέρα από την παραδοσιακή επεξεργασία ηλεκτρονικών προϊόντων και περιλαμβάνουν την κατασκευή φωτοβολταïκών κυλίνδρων, συσκευάς MEMS και ερευνητικές εργασίες προηγμένων υλικών. Η ικανότητα του κλιμακωτού φούρνου θερμικής αναδιαμόρφωσης να εκτελεί διάφορες θερμικές διαδικασίες όπως η οξειδωτική, η silicidation και η δημιουργία επαφών το καθιστά αναντιστρέπτως απαραίτητο εργαλείο στην παραγωγή μικροηλεκτρονικών.