کوره آنیالینگ حرارتی سریع
کورهٔ آنیالینگ حرارتی سریع یک تجهیزات پیچیده پردازش نیمهرسانا است که کنترل دقیق دما و چرخههای گرمکردن و سرد شدن سریع را امکانپذیر میسازد. این سیستم پیشرفته از لامپهای مدرن یا منابع گرمایی دیگر برای به سرعت افزایش دمای صفحههای نیمهرسانا به سطوح بسیار بالا، معمولاً بین 400 درجه سانتیگراد تا 1200 درجه سانتیگراد در مدت زمان کوتاهی استفاده میکند. فرآیند در یک حجره با جو کنترلشده اتفاق میافتد، جایی که پارامترهایی مانند دما، زمان و ترکیب گاز به طور دقیق مدیریت میشوند. نقش اصلی این کوره فعالسازی داپرها، ترمیم خرابی بلوری، چگالسازی لایههای رسوبدار و تغییر ویژگیهای مرزی در مواد نیمهرسانا است. چیزی که این فناوری را از دیگر روشها متمایز میکند، توانایی آن در کاهش بودجه حرارتی در حالی است که تغییرات مورد نظر در مواد را ایجاد میکند، که این موضوع آن را به یک ابزار ضروری برای تولید مدرن نیمهرسانا مبدل میکند. این سیستم از سیستمهای اندازهگیری و کنترل دما پیشرفته، معمولاً با استفاده از پیرومترها یا ترموکوپلها، برای تضمین یکنواختی دما روی سطح صفحه استفاده میکند. کاربردها فراتر از پردازش نیمهرسانای سنتی به تولید سلولهای خورشیدی، دستگاههای MEMS و تحقیقات مواد پیشرفته گسترش مییابد. توانایی کورهٔ آنیالینگ حرارتی سریع در انجام مختلف فرآیندهای حرارتی مانند اکسیداسیون، سیلیسیداسیون و تشکیل تماس، آن را به یک ابزار غیرقابل جایگزین در تولید میکروالکترونیک تبدیل میکند.