nopea termisenkeliuuppi
Nopea termisennekaistin on kehittynyt semikonduktoriaesittelylaitteisto, joka mahdollistaa tarkkan lämpötilan ohjaamisen ja nopeat lämmitys- ja jäähdytyskierrokset. Tämä edistynyt järjestelmä käyttää korkeaintensiteettisiä lamppuja tai muita lämmityslähteitä, joiden avulla semikonduktoripohjien lämpötila voidaan nostaa erittäin korkeiksi arvoiksi, yleensä 400°C:n ja 1200°C:n välillä, muutamassa sekunnissa. Prosessi tapahtuu hallitussa ilmakehään kammiossa, jossa parametrit, kuten lämpötila, aika ja kaasumurto, hallitaan huolellisesti. Kaistimen päätehtävä on aktivoittaa dopantit, korjata kristallivauriot, tiivistää syntyneet peitteet ja muuttaa rajapintojen ominaisuuksia semikonduktorimateriaaleissa. Mitä tämä teknologia erottaa muista on kyky minimoida termibudjetti samalla, kun se saavuttaa halutut materiaalimuutokset, mikä tekee siitä välttämättömän modernissa semikonduktoriteollisuudessa. Järjestelmä sisältää edistyneitä lämpötilamittaus- ja ohjausjärjestelmiä, joita käytetään yleensä pyrometreillä tai termoparillisilla, varmistamaan tarkka lämpötilayhtenevyys pohjan pinnalla. Käyttötarkoituksia laajenee ulos perinteisestä semikonduktoriprosessoinnista myös solupankkimuotostukseen, MEMS-laitteisiin ja edistyneeseen materiaalien tutkimukseen. Nopean termisennekaistimen kyky suorittaa erilaisia lämpöprosesseja, kuten oksidointi, silisidointi ja yhteyden muodostaminen, tekee siitä olennaisen työkalun mikroelektroniikan valmistuksessa.
EN
