fuarán meabhrú theirmi chluichthe
Is é feurán annealing théarmach bréige rud beag éagsúil eicseacht phróiseála semiconductor a chumasann tiomantas téamh fíor agus ciorclaí teasaíochta agus cooldoireachta bréige. Úsáideann an chóras innoviúil seo lampaí ard-éadrom nó foinnthe óga eile chun an téarma de bhord semiconductor a mhínigh go tapa go dtí leibhéal téama arda go mór, gineally idir 400°C agus 1200°C, faoi sé duitseac. Tarlaitheann an phróiseas i gcómartha aeráid rialaithe, áit a rialtaítear páramadair mar théama, am, agus comhréire gaisc, go héifeachtúil. Is í ghnás an fheuráin seo dopants a chur i bhfeidhm, crithchlochadh a léiriú, filmí curtha isteach a dinsiféadú, agus priobháid idirfhoirm a athrú i ngnéithe semiconductor. An rud atá difriúil faoi thochen an teicneolaíochta seo is féidir leis scor téarmach a laghdú, agus modhnuithe gnéithe mar sin a bhaint amach, ceangal é seo le hoibre phróiseála semiconductor lá inniu. Cuimsíonn an chóras cóipshróiseacha rialaithe agus meastaithe téarmach, gineally ag úsáid pioraméadra nó thermocouples, chun tiomantas fíor a chur i bhfeidhm ar fud scáthán an bhróid. Tosaíonn úsáid na feuráin seo as pháirt phróiseála semiconductor traidisiúnta chun iarratasanna phróiseála foirgneamh sólas, uirlisí MEMS, agus taighde ar mhatéadálacha nuálacha a chur i bhfeidhm. Mar gheall ar an gcuardaigh a bhfuil aici próiseas téarmach éagsúil a dhéanamh mar thoradh ar oksidéas, silicidéas, agus formáiltear teangmharc, bíonn sé cúiseach ina n-instraiméadar sa chruthaitheacht microeicse.