तेज़ थर्मल एनिलिंग चूल्हा
एक रैपिड थर्मल एनेलिंग फर्नेस एक उन्नत सैमिकायन प्रोसेसिंग उपकरण है जो सटीक तापमान नियंत्रण और त्वरित गर्मी और ठंडा चक्रों की सुविधा देता है। इस अग्रणी प्रणाली में उच्च-तीव्रता के बल्ब या अन्य गर्मी के स्रोतों का उपयोग किया जाता है ताकि सैमिकायन वेफ़रों के तापमान को कुछ सेकंडों में 400°C से 1200°C तक बढ़ाया जा सके। प्रक्रिया एक नियंत्रित वातावरण चैम्बर में होती है, जहाँ तापमान, समय और गैस की संरचना जैसे पैरामीटर ध्यान से प्रबंधित किए जाते हैं। फर्नेस का मुख्य कार्य सैमिकायन सामग्री में डोपेंट्स को सक्रिय करना, क्रिस्टल की क्षति को ठीक करना, डिपॉजिट किए गए फिल्मों को घनी बनाना और अंतरफलकीय गुणों को बदलना है। इस प्रौद्योगिकी को अलग करने वाली बात यह है कि यह अपेक्षित सामग्री परिवर्तन प्राप्त करते हुए भी थर्मल बजट को न्यूनतम करने की क्षमता रखती है, जिससे यह आधुनिक सैमिकायन निर्माण के लिए अनिवार्य हो जाती है। प्रणाली में उन्नत तापमान मापन और नियंत्रण प्रणालियों को शामिल किया गया है, जो आमतौर पर पाय्रोमीटर्स या थर्मोकपल्स का उपयोग करके वेफ़र सतह पर सटीक तापमान एकसमानता सुनिश्चित करती है। इसके अनुप्रयोग पारंपरिक सैमिकायन प्रोसेसिंग से परे भी फैले हुए हैं जिनमें सौर सेल निर्माण, MEMS उपकरण और उन्नत सामग्री का अनुसंधान शामिल है। रैपिड थर्मल एनेलिंग फर्नेस की ताकत विभिन्न थर्मल प्रक्रियाओं जैसे ऑक्सीकरण, सिलिसिडेशन और संपर्क निर्माण को करने की क्षमता है, जिससे यह माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स निर्माण में अपरिहार्य उपकरण बन जाता है।