brza termička aneja peć
Peć za brzo termodiffuzno otpalivanje je sofisticirano opremanje za obradu poluprovodnika koje omogućuje preciznu kontrolu temperature i brze cikluse zagrijavanja i hlađenja. Ovaj napredni sustav koristi visoko-intenzitetne lampe ili druge izvore topline kako bi brzo podigao temperaturu poluprovodničkih pločica na ekstremno visoke razine, obično između 400°C i 1200°C, unutar sekundi. Proces se odvija u kontroliranom atmosferskom komoru, gdje su parametri poput temperature, vremena i sastava plina pažljivo upravljanj. Glavna funkcija peći je aktivirati dopante, oponoviti štete kristalu, gustiti namještena slojeva i mijenjati međufazne svojstva u poluprovodničkim materijalima. Ono što ovu tehnologiju čini posebnom jest njezina sposobnost minimizirati termalni proračun dok postiže željene promjene u materijalu, što ju čini ključnom za moderne proizvodnje poluprovodnika. Sustav uključuje napredne sustave mjerenja i kontrole temperature, tipično koristeći pirometre ili termopare, osiguravajući preciznu uniformnost temperature po površini pločice. Primjene se proširuju izvan tradicionalne obrade poluprovodnika na uključivanje proizvodnje solarnih ćelija, MEMS uređaja i istraživanja naprednih materijala. Mogućnost peći za brzo termodiffuzno otpalivanje izvršiti različite termalne procese kao što su oksidacija, silicidacija i formiranje spoja čini je neophodnim alatom u proizvodnji mikroelektronike.