gyors hőosztási síkítófúrón
A gyors hőmélyezési sík a fejlett halványvezetékes technológiai feldolgozó eszköz, amely pontos hőmérséklet-ellenőrzést és gyors melegítési-hűtési ciklusokat tesz lehetővé. Ez a modern rendszer magas-intenzitású lámpákat vagy más melegítő forrásokat használ annak érdekében, hogy gyorsan emelje a halványvezetékes rúdok hőmérsékletét extrém szintekre, általánosan 400°C és 1200°C között, másodpercek alatt. A folyamat egy vezérlés alatt álló légkörű komorában zajlik le, ahol a paraméterek, például a hőmérséklet, az idő és a gázösszetevők finoman felügyeltnek kell lenniük. A sík elsődleges funkciója a dopezálók aktiválása, a kристálykárosodás javítása, a feltételezett filmek sűrűsítése és a halványvezetékes anyagok interfacial tulajdonságainak módosítása. Ami ezt a technológiát különlegessé teszi, az a képessége, hogy minimalizálja a hőtérvet, miközben elérhetőek a kívánt anyagi módosítások, ami fontos a modern halványvezetékes gyártás szempontjából. A rendszer fejlett hőmérséklet-mérési és -vezérlési rendszereket foglal magában, általában piramétereket vagy hőmérőcéllokat használva, hogy biztosítsa a rúd felszínén a pontos hőmérséklet-egységességet. Az alkalmazások túlszárnyalják a klasszikus halványvezetékes feldolgozást, és kiterjednek a napenergiacellák gyártására, a MEMS-eszközökbe és a haladó anyagok kutatásába. A gyors hőmélyezési sík képessége, hogy különböző hőfolyamatokat végezzen el, mint például oxidaszt, silicidációt és kapcsolat-formálást, amiért nemhinni tudó eszköz a mikroelektronika gyártásban.