Pažangios greito šiluminio atšilimo krosnys: aukštos tikslumo puslaidininkų apdorojimo sprendimas

Visos kategorijos
EN EN

greitojo terminio atkaitinimo krosnis

Greitasis termininis apdirbimo krosnis yra sudėtingas semiškinių apdorojimo įranga, leidžianti tiksliai kontroliuoti temperatūrą ir vykdyti greitus šilumos ir jausimo ciklus. Šis modernus sistemą naudoja galingus šviesos spindulius ar kitus šilumos šaltinius, kad per kelias sekundes pakeltų semiškinių skystų temperatūrą iki labai aukštų reikšmių, paprastai tarp 400°C ir 1200°C. Procesas vyksta valdomoje atmosferos kameroje, kur parametrai, tokie kaip temperatūra, laikas ir dujų sudėtis, yra atsargiai valdomi. Krosnio pagrindinė funkcija yra aktyvuoti dopantus, pataisyti kristalinę pažeidimų, stiprinti deponuotus sluoksnius ir modifikuoti sąsajos savybes semiškinių materijaluose. Tai, kas atskiria šią technologiją, yra galimybė sumažinti termalų biudžetą tuo tarpu pasiekiant norimas medžiagos modifikacijas, dėl ko ji yra būtina moderniam semiškinių gamybai. Sistema įtraukia modernias temperatūros matavimo ir valdymo sistemas, dažniausiai naudojančias pirometerius ar termoparėles, užtikrinančias tikslų temperatūros vienalytį per visą skysto paviršių. Taikomumas išplėstas ne tik tradiciniams semiškinių apdorojimui, bet ir saulės energijos elementų gamybai, MEMS įrenginiams bei išsamiai medžiagų tyrimams. Greitojo termino apdirbimo krosnio gebėjimas atlikti įvairius šiluminius procesus, tokius kaip oksidaciją, silicidaciją ir kontaktų formavimą, padaro jį nepakeičiamu prietaisu mikroelektronikos gamyboje.

Nauji produktai

Dviejų kamerų II tipo vakuuminė litavimo krosnis ŽIŪRĖTI DETALIAU

Dviejų kamerų II tipo vakuuminė litavimo krosnis

Titano taurės vakuuminio terminio apdorojimo krosnis ŽIŪRĖTI DETALIAU

Titano taurės vakuuminio terminio apdorojimo krosnis

Itin aukštos temperatūros vakuuminė krosnis ŽIŪRĖTI DETALIAU

Itin aukštos temperatūros vakuuminė krosnis

Vakuuminio atkaitinimo krosnis ŽIŪRĖTI DETALIAU

Vakuuminio atkaitinimo krosnis

Greitojo terminamojo kilimo krosnis siūlo daugybę priesakingų privalumų, dėl kurių jis tampa būtina įrankiu šiandieninėje semišvarinių elementų gamyboje. Pirmiausia, jo greitas šilumos ir uždegimo potencialas gana reikalauja mažiau laiko nei tradiciniams krosniais, kas lemia didesnį našumą ir geriau išnašą gamybos efektyvumo atžvilgiu. Šis greitaveikos pranašumas nesunaikina kokybės; priešingai, dažnai tai sukelia geresnius filmus ir sąsajas dėl trumpesnio termo poveikio laiko. Tiksli temperatūros valdymo sistema užtikrina tolygų šilumos pasiskirstymą per plieno paviršių, sumažindama termo stresą ir prevencijuojant plieno iškrypimą. Ši tolygumas yra svarbus kartu su stabilią produkto kokybę ir aukštus išvedimo rodiklius. Sistemos lankstumas leidžia apdoroti įvairias medžiagas bei vykdyti skirtingus termo apdorojimus naudojant tą pačią įrangą, sumažindami poreikį turėti kelis specializuotus įrankius. Kitas svarbus pranašumas yra mažesnis termo biudžetas, kuris sumažina nepageidautinas difuziją ir prevencijuojant prieš tai apdorotų sluoksnių žalą. Automatinės valdymo sistemos leidžia receptų pagrįstą apdorojimą, užtikrinant atkartojamumą ir sumažindami operatoriaus priklausomybę. Greitojo terminamojo kilimo krosnių kompaktiškas dizainas reikalauja mažiau šoninės vietos palyginti su tradiciniais krosniais, kadangi tai lemia geresnę erdvės naudojimo efektyvumą ir sumažintus objekto išlaidas. Energinis efektyvumas yra dar vienas pagrindinis pranašumas, nes tikslus šilumos metodas vartoja mažiau energijos nei konvencinės partinės apdorojimo metodus. Sistema galima apdoroti vieną plieną, o tai ne tik leidžia geresnį procesų valdymą, bet ir leidžia greitai keisti receptus bei lengviau rasti klaidas. Modernūs stebėjimo ir valdymo galimybės teikia realaus laiko procesų atsiliepimus, leidžiant nedelsiant jas pakeisti ir užtikrinti optimalius rezultatus. Visi šie pranašumai kartu prisideda prie geresnės produkto kokybės, padidinto našumo ir sumažintų eksploatavimo išlaidų.

Patarimai ir gudrybės

Kaip šildymo kameros pagerina pramoninius procesus

23

Jan

Kaip šildymo kameros pagerina pramoninius procesus

Rodyti daugiau
Kaip keraminių metalų krosnies pagerina pramoninius procesus

23

Jan

Kaip keraminių metalų krosnies pagerina pramoninius procesus

Rodyti daugiau
Galutinis vadovas vakuuminei liejimo krosnei

23

Jan

Galutinis vadovas vakuuminei liejimo krosnei

Rodyti daugiau
Kaip vakuuminės liejimo krosnies sukuria revoliuciją jungimo procesuose

23

Jan

Kaip vakuuminės liejimo krosnies sukuria revoliuciją jungimo procesuose

Rodyti daugiau

Gaukite nemokamą kainos pasiūlymą

Mūsų atstovas artimiausiu metu su jumis susisieks.
Email
Vardas
Įmonės pavadinimas
Žinutė
0/1000

greitojo terminio atkaitinimo krosnis

šilumos apdirbimo krosnio kaina
greitojo terminio atkaitinimo krosnis
vaakuuminio šilumos apdirbimo krosnio kaina
suukintasis krosnis peilimo procedūrai
įrankių kambario šiluminių apdorojimų krosnis
dvikamero šilumos apdirbimo krosnis
Išplėstinė temperatūros kontrolės sistema

Išplėstinė temperatūros kontrolės sistema

Greitojo terminamojo kilimo krosnies temperatūros valdymo sistema yra pergamynė terminamajame apdorojimo technologijoje. Ši sudėtinga sistema naudoja kelis temperatūros jutiklius ir modernias atgalinio ryšio mechanizmus, kad išlaikytų tikslų temperatūros valdymą ±1°C viso plieno paviršiaus plotu. Dažnių zonų šilumos išlydis, paprastai sudarytas iš aukštos intensyvumo lampų masyvų, leidžia nepriklausomai valdyti skirtingas plieno sritys, užtikrinant tolygias šilumos schemas. Realuoju laiku vykdomas temperatūros stebėjimas per integruotus pirmeterius, kurie suteikia momentinius atsiliepimus, leidžiant sistemei nedelsiant padaryti pataisas, kad išlaikytų pageidautinį temperatūros profilį. Toks valdymo lygis yra būtinas norint išvengti temperatūros gradientų, kurie gali sukelti plieno stresą ar apdorojimo nesuderinamumą. Sistema, galinti pasiekti greitą šilumos pakilimo tempą, kartu išlaikydama tikslų temperatūros valdymą, ypač vertinga programoms, reikalaujančioms striktinių termalinių biudžetų. Sudėtingi valdymo algoritmai įvertina veiksnius, tokiais kaip plieno savybės, kameros būklės ir procesavimo reikalavimai, kad pateiktų optimalius šilumos profilius kiekvienai specifinei programai.
Proceso versatiliškumas ir integravimas

Proceso versatiliškumas ir integravimas

Vienas iš pagrindinių greitos termalios kilimo krosnies ypatumų yra jos nuostabus proceso versatiliškumas. Sistema gali atlikti įvairias termalias procedūras, įskaitant dopanto aktyvaciją, filmo tankinimą, kontaktų formavimą ir oksido augimą, viskas viename platformoje. Šis versatiliškumas yra užtikrinamas krosnies sudėtinga dujų valdymo sistema, kuria galima naudoti kelias proceso dujas ir sukurti įvairias procesinio aplinkos sąlygas. Įrangą galima lengvai integruoti į esamas poluprovodnikų gamybos linijas naudojant standartizuotus sąsajas ir ryšių protokolus. Receptų pagrįstas operacijų sistemą leidžia greitai keisti procesus ir lengvai saugoti daugybę proceso parametrų, leidžiant greitai perjungti tarp skirtingų programų. Krosnies gebėjimas dirbti su skirtingais plieno dydžiais ir medžiais padaro ją pritaikomą prie keičiančiųsi gamybos reikalavimų, užtikrindama įrenginio investicijos vertę ilgą laiką.
Patobulinta gamybos efektyvumas

Patobulinta gamybos efektyvumas

Greitasis terminis apšvietimas (Rapid Thermal Annealing) stipriai skatina gamybos efektyvumą dėl keliių svarbių funkcijų. Jo vienos plastelio procesavimo galimybė, kartu išlaikant aukštą praleidžiamosios gebos lygį, leidžia tiksliai valdyti kiekvieno plastelio apdorojimą, užtikrinant geresnę kokybę ir sutapatumumą. Greitieji šiluminių ciklų šildymas ir jaustymasis drastiškai sumažina procesavimo laiką palyginti su konvenciniais partijinis krosniais, kas vedą prie aukštesnių dieninių praleidžiamosios gebos rodiklių. Sistemos automatinis plastelių tvarkymas ir procesavimo galimybės mažina operatoriaus įsikišimą, sumažindama žmogaus klaidų riziką ir padidindama veiklos efektyvumą. Patobulintos stebėsenos ir duomenų rinkimo sistemos teikia išsamų procesų dokumentavimą, skatindamas kokybės kontrolę ir procesų optimizavimą. Įrenginio patikimumas ir minimalūs priežiūros reikalavimai užtikrina aukštą darbo laiko procentą, prisidedant prie bendro gamybos efektyvumo. Energinės efektyvumo dizainas sumažina eksploatacijos išlaidas, kartu išlaikydami aukštą našumą, dėl ko jis yra ekonomiškas sprendimas semiheviconductor gamybai.