ātra termiskā anealīzes krājums
Ātra termiskā anealinga krūzma ir sofistikāta pārstrādes aparātu, kas ļauj precīzi kontrolet temperatūru un ātri veikt siltināšanas un dzesēšanas ciklus. Šis uzlabotais sistēmas veids izmanto augstas intensitātes lampas vai citus siltināšanas avotus, lai ātri paaugstinātu poluprovadkļu plāksnēm temperatūru līdz ļoti augstiem līmeņiem, parasti no 400°C līdz 1200°C, dažās sekundēs. Procesa notiek kontrolētā gāzu videi, kur parametri kā temperatūra, laiks un gāzu sastāvs tiek rūpīgi pārvaldīti. Krūzmas galvenā funkcija ir dopantu aktivizēšana, kristālu bojājumu dzesēšana, iedepoju filmu sadensificēšana un materiālu starppusēm īpašību mainīšana poluprovadkļu materiālos. Tas, kas šo tehnoloģiju atšķir no citām, ir tā spēja samazināt termisko budžetu, vienlaicīgi sasniedzot vēlamo materiālu modificēšanu, kas to padara par būtisku modernajai poluprovadkļu ražošanai. Sistēma ietver uzlabotus temperatūras mērīšanas un kontroles sistēmas, parasti izmantojot pirmeterus vai termopārus, nodrošinot precīzu temperatūras vienmērību pa plāksnes virsmu. Tās pielietojumi paplašināti ne tikai tradicionālajai poluprovadkļu pārstrādei, bet arī saules bateriju ražošanai, MEMS ierīcēm un uzlabotajiem materiālu pētījumiem. Ātrā termiskā anealinga krūzmas spēja veikt dažādas termiskās procesus, piemēram, oksidāciju, silicidāciju un kontaktu veidošanu, padara to par nepieciešamu rīku mikroelektronikas ražošanā.