печь быстрой термической отжига
Печь быстрой термической обработки — это сложное оборудование для обработки полупроводников, которое обеспечивает точный контроль температуры и быстрые циклы нагрева и охлаждения. Данная передовая система использует высокоинтенсивные лампы или другие источники нагрева, чтобы быстро повышать температуру кремниевых пластин до экстремально высоких значений, обычно от 400°C до 1200°C, за считанные секунды. Процесс происходит в контролируемой атмосферной камере, где параметры, такие как температура, время и состав газа, тщательно управляются. Основная функция печи заключается в активации легирующих примесей, восстановлении кристаллических дефектов, уплотнении нанесенных пленок и изменении межфазных свойств в полупроводниковых материалах. То, что отличает эту технологию, — её способность минимизировать тепловой бюджет при достижении желаемых модификаций материалов, что делает её необходимой для современного производства полупроводников. Система включает продвинутые системы измерения и контроля температуры, обычно использующие пирометры или термопары, гарантирующие точную температурную однородность по всей поверхности пластины. Применение выходит за рамки традиционной обработки полупроводников и включает производство солнечных элементов, устройств МЭМС и исследование передовых материалов. Возможность печи быстрой термической обработки выполнять различные тепловые процессы, такие как окисление, силенирование и формирование контактов, делает её незаменимым инструментом в производстве микроэлектроники.
EN
