مضخة شفط فراغية
يمثل مضخة شفط فراغية بالانتشار نظامًا متطورًا للفراغ العالي يعمل على مبدأ نقل الزخم بين جزيئات البخار وجزيئات الغاز. يستخدم هذا الآلية المبتكرة للضخ سائل خاص، عادةً زيت، يتم تسخينه لإنشاء بخار يتدفق عبر سلسلة من الفوهات بسرعات فوق صوتية. بينما ينطلق البخار لأسفل، فإنه يحمل معه جزيئات الغاز من الحجرة التي يتم تفريغها، مما يخلق ويحافظ على ظروف فراغ عالية. تصميم المضخة يتضمن مراحل متعددة من النفاثات مرتبة في تشكيل كاسكاد، مما يسمح لها بتحقيق ضغوط نهائية منخفضة تصل إلى 10-7 تور. تبدأ العملية عندما يتم تسخين السائل العامل في قسم المرجل الموجود في قاعدة المضخة، مما يسبب تكون بخار يتصاعد عبر المدخنة المركزية. بينما يتم إخراج هذا البخار عبر فوهات مصممة بدقة، فإنه يلتقط جزيئات الغاز ويحملها لأسفل، حيث يتم ضغطها وإخراجها في النهاية. ثم يتم إعادة تدوير السائل العامل المكثف إلى المرجل، مما يخلق دورة ضخ مستمرة وكفوءة. هذه المضخات ذات قيمة خاصة في التطبيقات الصناعية التي تتطلب ظروف فراغ عالية، مثل تصنيع الرقائق الإلكترونية، والمعادن، ومعدات البحث العلمي.