قطعات پمپ دیفرانسیل
اجزای پمپ دیفرانسیل اجزای ضروری سیستمهای خلاء فراوان را تشکیل میدهند و به صورت هماهنگ با یکدیگر کار میکنند تا شرایط خلاء بسیار شدید لازم برای مختلف کاربردهای صنعتی و علمی را ایجاد و حفظ کنند. اجزای اصلی شامل بدنه پمپ، مجموعه جت، گرمایش، ملفههای سردکننده و ذخیرهای برای مایع است. بدنه پمپ، که معمولاً از فولاد ضدآب ساخته شده است، سیستم پیچیده مجموعه جت را جایگذاری میکند که در آن مایع کاری بخاری شده و بعداً تخلیه میشود. مجموعه جت، که از چندین مرحله دهانه تشکیل شده است، جریانهای بخار با سرعت بالا را که مولکولهای گاز را جمعآوری و حمل میکنند، راهنمایی میکند. عنصر گرمایشی، که در پایین قرار دارد، انرژی حرارتی لازم برای بخاری شدن مایع کاری را ارائه میدهد، در حالی که ملفههای سردکننده گرادیان دما مناسبی در سراسر سیستم حفظ میکنند. ذخیره مایع، مایع اختصاصی پمپ را که معمولاً روغن سیلیکونی با ویژگیهای فشار بخار خاص است، ذخیره و تأمین میکند. این اجزا به طور هماهنگ با یکدیگر کار میکنند تا سطح خلاء به اندازه 10^-7 تور را دستیابی کنند، که آنها را در کاربردهایی از ساخت الکترونیک نیمهرسانا تا تجهیزات تحقیقات علمی بیارزش نمیکند.