hajotuspumpun osat
Diffuusiopumppujen osat muodostavat olennaisia komponentteja korkean tyhjän tilan järjestelmissä, toimivat yhdessä luomaan ja ylläpitämään äärimmäisiä tyhjän tilan olosuhteita, jotka ovat välttämättömiä monissa teollisissa ja tieteellisissä sovelluksissa. Pääkomponentit sisältävät pumppukappaleen, jet-assyyn, lammityksen, jäähdytyskierroksen ja virtavesilaitoksen. Pumppukappale, joka yleensä on valmistettu rostiton teräksestä, sisältää monimutkaisen jet-assy-järjestelmän, jossa työvirta hienoitetaan ja kondensoituu. Jet-assy, joka koostuu useista suuputkistageista, ohjaa korkean nopeuden höyryvirtaviivoja, jotka kiinnittävät ja kuljettavat kaasumolekyylejä. Lämpimäisilmukka, joka sijaitsee pohjassa, tarjoaa termisen energian, jota tarvitaan työvirta-aineen hienoittamiseen, kun taas jäähdytyskierros ylläpitää optimaalisia lämpötilakertyymiä koko järjestelmän kautta. Virtavesilaitos varastoi ja toimittaa erikoispumppuvirtaa, joka yleensä on silikoni-perustainen öljy, jolla on tiettyjä höyrypaineen ominaisuuksia. Nämä komponentit toimivat yhdessä saavuttaakseen tyhjän tilan tasot alhaisin 10^-7 torr, mikä tekee niistä arvokkaita sovelluksissa, jotka vaihtelevat semikonduktoriteollisuuden tuotannosta tieteellisten tutkimuslaitteiden käyttöön.