diffúziós vákuum szivattyú
A diffúziós vákuumpumpák egy kifinomult nagy vákuumrendszer, amely a gázmolekulák és a gőzmolekulák közötti lendületátvitel elvével működik. Ez az innovatív szivattyúzó mechanizmus egy speciális folyadékot, általában olajat használ, amelyet felmelegítve párát termel, amely szuperszonikus sebességgel folyik a tömlőkön keresztül. A gőz leereszkedésével a gázmolekulák a kiürülő kamrából is bejutnak, így nagy vákuumállapotokat teremtve és fenntartva. A szivattyú kialakítása több szakaszú, kaszkád formációban elrendezett sugárzással rendelkezik, így 10-7 torr-os nyomást tud elérni. A folyamat akkor kezdődik, amikor a működő folyadékot a szivattyú alján lévő kazánszekcióban melegítik, és a gőz keletkezik, amely a központi kéményen keresztül emelkedik. Amikor ezt a gőzt pontosan megalkotott fúvókán keresztül kiürítik, elkapja a gázmolekulákat, és lefelé visz őket, ahol tömörülnek, majd végül kimerülnek. A sűrített folyadékot a kazánba újraforgatják, így folyamatos és hatékony szivattyúzási ciklus jön létre. Ezek a szivattyúk különösen értékesek olyan ipari alkalmazásokban, amelyek nagy vákuumfeltételeket igényelnek, mint például a félvezetőgyártás, a metallurgia és a tudományos kutatási berendezések.