ルーツ型真空ポンプ
ルーツ型真空ポンプは、工業用真空技術における重要な進歩を代表し、正圧変位の原理に基づいて真空状態を作り出し、維持します。このポンプは、8の字断面を持つ2つの同期ロータで構成され、精密に設計されたハウジング内で反対方向に回転します。ロータが回転する際、ロータの葉とハウジングの壁の間でガス分子を捕捉し、吸気口から排気ポートへ連続的に移動させます。このポンプの設計により、大気圧から約10^-3 mbarまでさまざまな圧力範囲で効率的に動作できます。ルーツポンプの最も特徴的な点は、低圧でも高い吸引速度を維持できることで、これにより工業用途において特に価値があります。これらのポンプは、吸引室内部に潤滑油を使用せず、オイルによる汚染のないクリーンな真空環境を確保します。ルーツポンプの堅牢な構造には、高品質アルミニウムまたはステンレス鋼で作られた精密加工されたロータがあり、高性能ベアリングに取り付けられています。現代のルーツポンプには、速度制御用の可変周波数ドライブ、温度監視システム、およびガス漏れを防ぐための高度なシーリング機構などの先進機能が組み込まれていることがよくあります。その応用範囲は、半導体製造、化学処理、冶金、食品包装など多くの産業にわたり、一貫した真空レベルと高いスループット能力が必要なプロセスで優れた性能を発揮します。