디프루션 펌프 부품
유전 펌프 부품은 다양한 산업 및 과학 응용 프로그램에 필요한 극한 진공 조건을 만들고 유지하기 위해 함께 작동하는 고 진공 시스템의 필수 구성 요소입니다. 주요 구성 요소는 펌프 몸체, 제트 어셈블리, 히터, 냉각 스필 및 유체 저장입니다. 일반적으로 스테인리스 스틸로 만들어진 펌프 몸에는 복잡한 제트 조립 시스템이 있으며, 작업 액체가 증발되고 응고됩니다. 여러 개의 노즐 단계로 구성된 제트 조립체는 가스 분자를 포착하고 운반하는 고속 증기 흐름을 지시합니다. 밑에 위치 한 난방 요소는 작업 유체를 증발시키는 데 필요한 열 에너지를 공급하며 냉각 스핀은 시스템 전체에서 최적의 온도 경사를 유지합니다. 유체 저장소는 특화된 펌프 유체를 저장하고 공급합니다. 일반적으로 특정 증기 압력 특성을 가진 실리콘 기반의 기름입니다. 이 부품들은 10^-7 torr까지의 진공 수준을 달성하기 위해 협동하여 반도체 제조에서 과학 연구 장비에 이르기까지 다양한 응용 분야에서 귀중한 역할을 합니다.