유전 진공 펌프
유출 진공 펌프는 증기 분자와 가스 분자 사이의 운동량 전송의 원칙에 따라 작동하는 정교한 고 진공 시스템을 나타냅니다. 이 혁신적인 펌프 메커니즘은 특수한 액체, 일반적으로 석유를 이용해서 열을 가해 증기를 만들어 초음속의 속도로 일련의 노즐을 통해 흐른다. 증기가 아래로 날아갈 때, 방에서 가스 분자를 끌어들여서 높은 진공 상태를 만들어 유지합니다. 펌프의 설계는 캐스케드 형식으로 배치된 여러 단계의 제트를 특징으로하며 10-7 토르의 최저 압력을 달성 할 수 있습니다. 이 과정 은 펌프 밑 에 있는 보일러 부위 에서 작동 액체가 가열 될 때 시작 되며, 중앙 연기를 통해 올라가는 증기를 만들어 낸다. 이 증기가 정밀하게 설계된 노즐을 통해 배출되면서, 가스 분자를 붙잡고 아래로 가져가다가 압축되고 결국 소모됩니다. 가축화된 작업 액체는 다시 보일러로 재활용되어 지속적이고 효율적인 펌프 사이클을 만듭니다. 이 펌프는 반도체 제조, 금속공학 및 과학 연구 장비와 같은 높은 진공 조건을 요구하는 산업용 응용 분야에서 특히 가치가 있습니다.