루츠 형식 진공 펌프
루츠형 진공 펌프는 산업용 진공 기술에서 중요한 발전을 대표하며, 양압 원리를 사용하여 진공 상태를 생성하고 유지합니다. 이 펌프는 8자 모양의 단면을 가진 두 개의 동기화된 로터로 구성되어 있으며, 정교하게 설계된 하우징 내에서 반대 방향으로 회전합니다. 로터가 회전하면서 가스 분자를 로터 날개와 하우징 벽 사이에 갇히게 하고, 이를 계속해서 입구에서 출구 포트로 이동시킵니다. 펌프의 설계는 다양한 압력 범위에서 효율적으로 작동할 수 있도록 해주며, 일반적으로 대기압에서 약 10^-3 mbar까지 작동합니다. 루츠 펌프의 가장 돋보이는 특징 중 하나는 저압에서도 높은 펌핑 속도를 유지할 수 있는 능력으로, 이는 산업 응용에서 특히 가치가 있습니다. 이러한 펌프는 펌핑 챔버 내부에 윤활유가 없이 작동하기 때문에, 오일 오염이 없는 깨끗한 진공 환경을 보장합니다. 루츠 펌프의 견고한 구조는 고급 알루미늄 또는 스테인레스 스틸로 제작된 정밀 가공된 로터로 이루어져 있으며, 강력한 베어링에 장착됩니다. 현대적인 루츠 펌프는 종종 속도 제어를 위한 변주파 드라이브, 온도 모니터링 시스템 및 복잡한 밀봉 메커니즘과 같은 선진 기능을 통합하여 가스 누출을 방지합니다. 그들의 응용 분야는 반도체 제조, 화학 처리, 금속 공학, 식품 포장 등 여러 산업에 걸쳐 있으며, 일관된 진공 수준과 높은 처리량이 필요한 프로세스에서 뛰어난 성능을 발휘합니다.