difuzinės pompos dalys
Difuzijos siurblių dalys yra esminės didelio vakuumo sistemų dalys, kurios bendradarbiauja, kad sukurtų ir išlaikytų ekstremalias vakuumo sąlygas, reikalingas įvairioms pramonės ir mokslo reikmėms. Pagrindiniai komponentai yra siurblio korpuso, srauto junginys, šildytuvas, aušinimo sukabiniai ir skysčio rezervuaras. Siurblio kūnas, paprastai pagamintas iš nerūdijančio plieno, turi sudėtingą srauto surinkimo sistemą, kurioje veikiantis skystis išgarinamas ir kondensuojamas. Iš kelių dujinių stadijų sudarytas srautas valdo greitą garų srautą, kuris sugauna ir perkelia dujų molekules. Šildiklis, kuris yra ant pagrindų, suteikia šiluminę energiją, reikalingą darbo skysčiui išgarinti, o aušinimo sukrėpiai palaiko optimalius temperatūros gradientus visoje sistemoje. Skysčio rezervuaras kaupia ir tiekiasi specializuotą siurblių skystį, paprastai aliejus, pagamintas iš silicio, kurio garų slėgis yra ypatingas. Šie komponentai bendradarbiauja, kad pasiektų vakuumo lygį, mažesnį nei 10-7 torr, todėl jie yra neįkainojami daugelyje programų, pradedant puslaidininkų gamyba ir baigiant mokslinėmis tyrimų įranga.