delen van diffusiepompen
De onderdelen van de diffusiepompen vormen essentiële onderdelen van hoogvacuümsystemen en werken samen om de extreme vacuümomstandigheden te creëren en te handhaven die nodig zijn voor verschillende industriële en wetenschappelijke toepassingen. De belangrijkste componenten zijn de pomp, de straalinstallatie, de verwarming, de koelspellen en het vloeistofreservoir. Het pompkorps, meestal gemaakt van roestvrij staal, herbergt het ingewikkelde straalsysteem waar de werkvloeistof wordt verdampt en gecondenseerd. De straalconstructie, bestaande uit meerdere spuitstukken, stuurt de hoge snelheidstoomstromen die gasmoleculen vangen en vervoeren. Het aan de basis geplaatste verwarmingselement levert de thermische energie die nodig is om de werkvloeistof te verdampen, terwijl de koelspellen optimale temperatuurgradiënten in het hele systeem handhaven. Het vloeistofreservoir slaat de gespecialiseerde pompvloeistof op, meestal een olie op basis van silicium met specifieke dampdrukken. Deze componenten werken samen om vacuümniveaus van 10 tot 7 torr te bereiken, waardoor ze van onschatbare waarde zijn in toepassingen variërend van de vervaardiging van halfgeleiders tot wetenschappelijke onderzoeksapparatuur.