części pomp dyfuzyjnych
Części pomp dyfuzyjnych stanowią istotne elementy systemów wysokiej próżni, współpracując ze sobą w celu stworzenia i utrzymania ekstremalnych warunków próżni niezbędnych do różnych zastosowań przemysłowych i naukowych. Główne elementy obejmują: nadwozie pompy, układ odrzutowy, grzejnik, cewki chłodzące i zbiorniki płynu. W korpusie pompy, zwykle wykonanej ze stali nierdzewnej, znajduje się skomplikowany system montażu odrzutowy, w którym płyn roboczy jest parowany i skondensowany. Zespół odrzutowy, składający się z wielu etapów dyszy, kieruje prędkością wysokiej prędkości strumieniami par, które wychwytują i przenoszą cząsteczki gazu. Element grzewczy, umieszczony u podstawy, dostarcza energii cieplnej potrzebnej do odparowania płynu roboczego, podczas gdy cewki chłodzące utrzymują optymalne gradienty temperatury w całym systemie. Zbiornik płynu przechowuje i dostarcza specjalistyczny płyn pompowy, zwykle olej na bazie krzemu o specyficznych właściwościach ciśnienia pary. Komponenty te współpracują w celu osiągnięcia poziomu próżni tak niskiego jak 10-7 torr, co czyni je nieocenionymi w zastosowaniach od produkcji półprzewodników po sprzęt badawczy.