părți ale pompei de difuziune
Componentele pompei de difuziune reprezintă elemente esențiale ale sistemelor cu vacuu mare, luând parte în crearea și menținerea condițiilor extreme de vacuu necesare pentru diverse aplicații industriale și științifice. Componentele principale includ corpul pompei, asamblarea de jetoane, căldatorul, bobinele de răcire și rezervorul de lichid. Corpul pompei, de obicei construit din oțel inoxidabil, ghizează sistemul complex de asamblare a jeturilor unde lichidul de lucru este vaporizat și condensat. Asamblarea de jetoane, formată din mai multe etape de uzine, direcționează curentele de vapor la înaltă viteză care capturează și transportă moleculele de gaz. Elementul de căldare, poziționat la bază, oferă energia termică necesară pentru a vaporiza lichidul de lucru, în timp ce bobinele de răcire mențin gradientele de temperatură optime pe tot parcursul sistemului. Rezervorul de lichid stochează și furnizează fluidul specializat al pompei, de regulă un ulei bazat pe siliciu cu caracteristici specifice de presiune de vapor. Aceste componente funcționează în concordanță pentru a atinge niveluri de vacuu cât mai scăzute de până la 10^-7 torr, făcându-le nedepășite în aplicații care variază de la fabricarea de semiconductori până la echipamente de cercetare științifică.