части диффузионных насосов
Компоненты диффузионного насоса являются важными элементами высоковакуумных систем, взаимодействуя для создания и поддержания экстремальных вакуумных условий, необходимых для различных промышленных и научных приложений. Основные компоненты включают корпус насоса, форсуночный узел, нагреватель, охлаждающие спирали и резервуар для жидкости. Корпус насоса, как правило, изготовленный из нержавеющей стали, содержит сложную систему форсуночных узлов, где рабочая жидкость испаряется и конденсируется. Форсуночный узел, состоящий из нескольких ступеней сопел, направляет потоки высокоскоростного пара, которые захватывают и транспортируют молекулы газа. Элемент нагревателя, расположенный внизу, обеспечивает тепловую энергию, необходимую для испарения рабочей жидкости, в то время как охлаждающие спирали поддерживают оптимальные температурные градиенты по всему системе. Резервуар для жидкости хранит и подает специализированную жидкость для насоса, обычно силиконовое масло с определенными характеристиками парового давления. Эти компоненты работают совместно для достижения уровней вакуума до 10^-7 торр, что делает их бесценными в применениях от производства полупроводников до научного исследовательского оборудования.