диффузионный вакуумный насос
Диффузионный вакуумный насос представляет собой сложную систему высокого вакуума, которая работает на принципе передачи импульса между молекулами пара и молекулами газа. Этот инновационный механизм насоса использует специальную жидкость, обычно масло, которое нагревается для создания пара, проходящего через серию сопел на сверхзвуковой скорости. По мере того как паровые струи движутся вниз, они увлекают за собой молекулы газа из камеры, подлежащей эвакуации, эффективно создавая и поддерживая условия высокого вакуума. Конструкция насоса включает несколько этапов сопел, расположенных в каскадной форме, что позволяет достигать предельных давлений до 10-7 торр. Процесс начинается, когда рабочая жидкость нагревается в котле, находящемся в нижней части насоса, создавая пар, который поднимается через центральную трубу. Когда этот пар выбрасывается через точно рассчитанные сопла, он захватывает молекулы газа и переносит их вниз, где они сжимаются и в конечном итоге отводятся. Затем конденсированная рабочая жидкость возвращается в котел, создавая непрерывный и эффективный цикл работы насоса. Эти насосы особенно ценны в промышленных приложениях, требующих условий высокого вакуума, таких как производство полупроводников, металлургия и научное исследовательское оборудование.