difüzyon pompasının parçaları
Difüzyon pompa parçaları, çeşitli endüstriyel ve bilimsel uygulamalar için gerekli olan ekstrem vakum koşullarını oluşturmak ve sürdürmek üzere yüksek-vakum sistemlerinin temel bileşenlerini oluşturur. Ana bileşenler, pompa gövdesi, jet montajı, ısıtıcı, soğutma bobinleri ve sıvı rezervuarıdır. Pompa gövdesi, genellikle çelikten yapılmış olup, işleyen sıvıyı buharlaştırır ve kondense edilen karmaşık bir jet montaj sistemi barındırır. Jet montajı, birden fazla düzlük aşamasından oluşan, gaz moleküllerini yakalamak ve taşımak için yüksek hızda buhar akışlarını yönlendiren bir sistemdir. Isıtaban elemanı, tabanda yer alarak işleyen sıvıyı buharlaştırmak için gereken termal enerjiyi sağlar, whereas soğutma bobinleri sistemin her yerinde optimal sıcaklık gradyanlarını korur. Sıvı rezervuarı, genellikle belirli buhar basıncı özelliklerine sahip silikon tabanlı bir yağ olan özel pompa sıvısını depolar ve tedarik eder. Bu bileşenler, 10^-7 torr'a kadar olan vakum seviyelerini elde etmek için birlikte çalışır, bu da onları semi-ilettirici üretimi gibi uygulamalardan bilimsel araştırma ekipmanlarına kadar değerli hale getirir.