difüzyon vakum pompası
Bir difüzyon vakum pompa, buhar molekülleri ve gaz molekülleri arasındaki momentum transfer prensibi üzerine çalışan bir yüksek-vakum sistemi temsil eder. Bu yenilikçi pompa mekanizması, genellikle yağ olan özel bir sıvı kullanır; bu sıvı ısıtılır ve süpersonik hızlarda bir dizi boru boyunca akan bir buhar oluşturur. Buhar akımı aşağı doğru ilerlerken, boşaltılan odadan gaz moleküllerini taşır ve böylece yüksek vakum koşullarını oluşturur ve sürdürür. Pompanın tasarımı, son basıncı 10-7 torr kadar düşebilen bir kaskad düzeninde dizilmiş birden fazla aşamalı buhar akımı içerir. İşlem, çalıştırıcı sıvının pompanın tabanındaki kazan bölümünde ısıtılmasıyla başlar; bu da merkezi şimdelenin içinden yükselen bir buhar oluşturur. Bu buhar, mühendislikle tasarlanmış borulardan fışkırtılırken, gaz moleküllerini yakalar ve onları aşağı doğru taşıyarak sıkıştırır ve nihayetinde dışarı atar. Sıvı buhar soğutulduktan sonra kazana geri döngüye sokulur ve sürekli, verimli bir pompa çevrimi oluşturulur. Bu tür pumpta, semiiletken üretim, metalurji ve bilimsel araştırma ekipmanı gibi yüksek vakum koşulları gerektiren endüstriyel uygulamalarda özellikle değerlidir.