أجزاء مضخات الانتشار
تشكل أجزاء مضخات التشتت مكونات أساسية لأنظمة الفراغ العالي ، تعمل معًا لخلق وصيانة ظروف الفراغ القاسية اللازمة لمختلف التطبيقات الصناعية والعلمية. تشمل المكونات الرئيسية جسم المضخة ، وجمعية الطائرة ، والسخان ، ولفائف التبريد ، وخزان السوائل. يضم جسم المضخة، الذي يتم بناؤه عادة من الفولاذ المقاوم للصدأ، نظام تجميع النفاث المعقد حيث يتم تبخير السائل العامل وتكثيفه. يوجّه الجمع النفاث، المكون من مراحل مضخة متعددة، تدفقات البخار عالية السرعة التي تلتقط وتحمل جزيئات الغاز. عنصر التدفئة، الموضع في القاعدة، يوفر الطاقة الحرارية اللازمة لتبخير السائل العامل، في حين أن لفائف التبريد تحافظ على تراجعات درجة الحرارة المثلى في جميع أنحاء النظام. تخزن خزانات السوائل وتزود السوائل المخصصة للضخ ، عادةً ما تكون زيتًا على أساس السيليكون مع خصائص ضغط بخار محددة. تعمل هذه المكونات معاً لتحقيق مستويات فراغ منخفضة تصل إلى 10^-7 torr، مما يجعلها لا تقدر بثمن في تطبيقات تتراوح من تصنيع أشباه الموصلات إلى معدات البحث العلمي.