مضخة فراغ الاختراق الزيتي
يمثل مضخة الشفط الفراغية بنظام انتشار الزيت تقنية فراغية متقدمة تعمل على مبدأ انتشار النفاثات البخارية. يستخدم هذا الجهاز المبتكر زيتًا خاصًا يتم تسخينه إلى نقطة الغليان، مما يولد بخارًا يلتقط ويوجه جزيئات الغاز من الحجرة التي يتم إخلاؤها. مع تكثيف بخار الزيت على الجدران المبردة بالماء، فإنه يحمل الجزيئات المحبوسة للأسفل، مما يقلل الضغط في النظام بشكل فعال. تحقق المضخة مستويات فراغ استثنائية، حيث يمكن أن تصل الضغوط إلى ما يصل إلى 10^-7 تور، مما يجعلها مثالية للاستخدامات الصناعية والعلمية المطلوبة بشدة. يتكون النظام من عدة مراحل من النفاثات، كل منها يساهم في ضغط التدريجي للغازات، بينما تضمن الجدران المبردة تكثيف البخار وإعادة تدوير الزيت بكفاءة. تتضمن مضخات الانتشار بالزيت الحديثة ميزات متقدمة مثل مجموعات نفاثات مصممة بدقة، وعناصر تسخين محسّنة، وأنظمة تبريد فعالة تزيد من الأداء وتقلل من استهلاك الطاقة. هذه المضخات ذات قيمة خاصة في تصنيع شرائح السيليكون، وترسيب الأغشية الرقيقة، والميكروسكوب الإلكتروني، والعديد من العمليات التقنية الأخرى التي تتطلب ظروف فراغ فوق مرتفعة.