teile für Diffusionspumpen
Die Komponenten einer Diffusionspumpe bilden wesentliche Bestandteile von Hochvakuumanlagen und arbeiten zusammen, um die extremen Vakuumbedingungen herzustellen und aufrechtzuerhalten, die für verschiedene industrielle und wissenschaftliche Anwendungen notwendig sind. Die wichtigsten Komponenten umfassen den Pumpenkörper, das Düsenmodul, den Heizer, Kühlspulen und den Fluidbehälter. Der Pumpenkörper, meist aus Edelstahl gefertigt, beherbergt das komplexe Düsenmodulsystem, in dem das Arbeitsfluid verdampft und kondensiert wird. Das Düsenmodul, bestehend aus mehreren Düsenstufen, leitet die hochgeschwindigen Dampfflutströme, die Gasmoleküle einfangen und transportieren. Das Heizelement am Boden liefert die thermische Energie, die benötigt wird, um das Arbeitsfluid zu verdampfen, während die Kühlspulen optimale Temperaturgradienten im gesamten System aufrechterhalten. Der Fluidbehälter speichert und versorgt das spezialisierte Pumpefluid, normalerweise ein silikonderiviertes Öl mit bestimmten Dampfdruckeigenschaften. Diese Komponenten arbeiten gemeinsam, um Vakuumpegel bis zu 10^-7 Torr zu erreichen, was sie unersetzlich in Anwendungen macht, die von der Halbleiterherstellung bis hin zu wissenschaftlichen Forschungsgeräten reichen.
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