öl-Diffusionsvakuum pump
Der Öl-Diffusionsvakuum pump stellt eine hochentwickelte Hochvakuum-Technologie dar, die auf dem Prinzip der Dampfstrahldiffusion basiert. Dieses innovative Gerät verwendet spezielles Öl, das auf seinen Siedepunkt erhitzt wird, um Dampf zu erzeugen, der Gasmoleküle aus der evakuierten Kammer einfängt und leitet. Während sich der Öl-Dampf an den wassergekühlten Wänden kondensiert, trägt er die gefangenen Gasmoleküle nach unten, was effektiv den Druck im System reduziert. Die Pumpe erreicht außergewöhnliche Vakuumebenen und kann Drücke von bis zu 10^-7 Torr erreichen, was sie ideal für anspruchsvolle industrielle und wissenschaftliche Anwendungen macht. Das System besteht aus mehreren Stufen von Düsen, die jeweils zur fortschreitenden Kompression der Gase beitragen, während die gekühlten Wände eine effiziente Verdampfung und Rückgewinnung des Öls sicherstellen. Moderne Öl-Diffusionspumpen verfügen über fortgeschrittene Funktionen wie präzise konstruierte Düsenanordnungen, optimierte Heizelemente und effiziente Kühlungssysteme, die die Leistung maximieren und gleichzeitig den Energieverbrauch minimieren. Diese Pumpen sind insbesondere in der Halbleiterherstellung, der Dünnfilmdeposition, der Elektronenmikroskopie und verschiedenen anderen Hochtechnologie-Prozessen von großem Wert, die ultrahoches Vakuum erfordern.