diffusionsvakuum-pumpe
Ein Diffusionsvakuum pumpen stellt ein sophisticated Hochvakuum-System dar, das auf dem Prinzip des Impulsaustausches zwischen Dampf- und Gasmolekülen basiert. Dieser innovative Pumpenmechanismus nutzt eine spezialisierte Flüssigkeit, typischerweise Öl, das erhitzt wird, um einen Dampf zu erzeugen, der durch eine Reihe von Düsen mit Überschallgeschwindigkeit fließt. Während der Dampf nach unten strömt, erfasst er Gasmoleküle aus der zu evakuierenden Kammer, wodurch effektiv hohe Vakuumbedingungen geschaffen und aufrechterhalten werden. Die Pumpe ist so gestaltet, dass sie mehrere Stufen von Düsen in einer Kaskadenanordnung aufweist, was es ihr ermöglicht, Enddrücke bis zu 10-7 Torr zu erreichen. Der Prozess beginnt, wenn die Arbeitsflüssigkeit im Boiler-Bereich am Pumpenfuß erhitzt wird, wodurch Dampf entsteht, der durch den zentralen Schornstein aufsteigt. Während dieser Dampf durch präzise konstruierte Düsen abgeblasen wird, erfasst er Gasmoleküle und transportiert sie nach unten, wo sie komprimiert und schließlich abgeführt werden. Die kondensierte Arbeitsflüssigkeit wird dann zurück in den Boiler recycelt, um einen kontinuierlichen, effizienten Pumpzyklus zu schaffen. Diese Pumpen sind insbesondere in industriellen Anwendungen von großem Wert, die hohe Vakuumbedingungen erfordern, wie bei der Halbleiterherstellung, Metallurgie und wissenschaftlicher Forschungsausrüstung.