拡散ポンプ部品
拡散ポンプ部品は、各种の産業および科学研究用途に必要な極真空条件を生成および維持するために、高真空システムの重要な構成要素を形成します。主要な部品には、ポンプ本体、ジェットアセンブリ、ヒーター、冷却コイル、および流体リザーバーが含まれます。ポンプ本体は通常ステンレス鋼で作られ、作動流体が蒸発して凝縮される精密なジェットアセンブリシステムを収容します。ジェットアセンブリは複数のノズル段からなり、ガス分子を捕捉し輸送するための高速の蒸気流れを誘導します。ベースに配置されたヒーターエレメントは、作動流体を蒸発させるために必要な熱エネルギーを供給し、冷却コイルはシステム全体で最適な温度勾配を維持します。流体リザーバーは、通常特定の蒸気圧特性を持つシリコン系オイルなどの専用ポンプ流体を貯蔵および供給します。これらの部品は協調して動作し、10^-7トルまでの真空レベルを達成し、半導体製造から科学研究機器まで幅広い応用で欠かせないものです。