油拡散真空ポンプ
オイル拡散真空ポンプは、蒸気ジェット拡散の原理に基づく高度な高真空技術を代表する装置です。この革新的なデバイスは、沸点まで加熱された専用の油を使用し、その蒸気が排出されるチャンバー内のガス分子を捕捉して方向づけます。油の蒸気が水冷式の壁で凝縮する際、捕獲されたガス分子を下方に運び、システム内の圧力を効果的に低下させます。このポンプは非常に優れた真空度を達成し、通常は10^-7トルまでの低圧まで到達します。これにより、要求の厳しい産業や科学研究用途に最適です。システムは複数段階のジェットから構成されており、それぞれがガスの逐次的な圧縮に寄与します。冷却された壁面は、蒸気の効率的な凝縮と油の再利用を確保します。現代のオイル拡散ポンプには、精密に設計されたジェットアセンブリ、最適化された加熱要素、そして性能を最大化しながらエネルギー消費を最小限に抑える効率的な冷却システムなどの先進機能が組み込まれています。これらのポンプは特に、半導体製造、薄膜形成、電子顕微鏡、および超高度真空条件を必要とする他のさまざまなハイテクプロセスにおいて非常に貴重です。