拡散真空ポンプ
拡散真空ポンプは、蒸気分子とガス分子の間での運動量移動の原理に基づいて動作する高度な高真空システムを表します。この革新的なポンプ機構は、通常オイルなどの専用流体を使用し、これを加熱して超音速でノズルを通る蒸気を作り出します。蒸気が下方に噴射される際に、排出対象のチャンバー内のガス分子を巻き込み、効果的に高真空状態を生成および維持します。ポンプの設計には、段階的なジェットがカスケード形式で配置されており、これにより10-7トルまでの極限圧力を達成できます。プロセスは、作動流体がポンプの底部にあるボイラー部で加熱され、中央の煙突を通じて蒸気として上昇することから始まります。この蒸気が精密に設計されたノズルから放出されると、ガス分子を捕捉し、下方に運搬し、圧縮して最終的には排気されます。凝縮した作動流体はその後、ボイラーに戻されて再利用され、連続的かつ効率的なポンプサイクルが形成されます。これらのポンプは特に半導体製造、冶金、科学機器など、高真空条件が必要な工業用途において非常に貴重です。