拡散ポンプの真空範囲
拡散ポンプの真空範囲は、蒸気ジェット拡散の革新的な原理を用いた高真空技術における洗練されたソリューションを表しています。これらのポンプは、通常オイルなどの専用作動流体を加熱して蒸気流れを作ることで、優れた真空レベルを達成します。この蒸気は凝縮されることで、排出されるチャンバー内のガス分子を効果的に捕獲し、10-7 mbarまでの低真空を生成します。システムの設計には、ガスを段階的に圧縮するための複数のジェット段が組み込まれており、水冷式の壁により作動流体の効率的な凝縮が保証されます。現代の拡散ポンプには、高度な熱管理システム、最適化されたジェット設計、そして優れた流体力学特性が備わっており、さまざまな用途において一貫したパフォーマンスを発揮します。これらのポンプは、冶金、半導体製造、科学研究など、安定した高真空環境が必要な工業プロセスに特に優れています。堅牢な構造と最小限の可動部品により、卓越した信頼性と長寿命が確保されています。この技術は様々なチャンバーサイズや構成に対応でき、多様な工業要件に適応しながら一貫した性能基準を維持します。